首页> 中国专利> 局部阳极氧化制备纳米织构的方法

局部阳极氧化制备纳米织构的方法

摘要

本发明公开了一种局部阳极氧化制备纳米织构的方法,该方法基于导电原子力显微镜,采用局部阳极氧化法制备纳米织构,可通过选择不同的脉冲电压、脉冲宽度以及表面湿度来实现对纳米织构高度(0.5~12nm)的控制。应用本发明制备的纳米织构,可有效阻止微纳米光机电系统器件表面的大面积接触,显著减小其表面粘着力。因此,本发明所制备的表面纳米织构具有很好的抗粘着性能。

著录项

  • 公开/公告号CN102530842A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-07-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 广西大学;

    申请/专利号CN201210014870.5

  • 发明设计人 莫宇飞;黄福川;卢朝霞;杨茂立;

    申请日2012-01-18

  • 分类号B81C1/00(20060101);

  • 代理机构45104 广西南宁公平专利事务所有限责任公司;

  • 代理人杨立华;翁建华

  • 地址 530004 广西壮族自治区南宁市大学路100号

  • 入库时间 2023-12-18 05:51:34

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-03-11

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B81C1/00 申请公布日:20120704 申请日:20120118

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2012-09-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):B81C1/00 申请日:20120118

    实质审查的生效

  • 2012-07-04

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号