径向气浮导向模块及应用其的光刻机运动平台

摘要

本发明提供一种径向气浮导向模块及应用其的光刻机运动平台。径向气浮导向模块设置于微动台，包括圆环定子与多个柔性铰链。圆环定子具有气浮导向部，微动台以气浮导向部为导向运动。多个柔性铰链均匀地固定于微动台，每一个柔性铰链分别具有固定部、柔性部以及气浮部。固定部固定于微动台，柔性部连接固定部与气浮部，气浮部面对气浮导向部，且气浮部与气浮导向部之间能够形成均匀的压缩空气层。本发明提供的径向气浮导向模块中，利用柔性铰链来实现径向气浮导向，既保证了径向气浮导向模块在水平方向的刚度，又有利于降低径向气浮导向模块的设计、加工以及其装配的难度。