蚀刻液和补给液以及使用它们的导体图案的形成方法

摘要

本发明的蚀刻液是对选自Ni、Cr、Ni-Cr合金和Pd之中的至少一种金属进行蚀刻的蚀刻液，其是包含选自NO、N₂O、NO₂、N₂O₃及它们的离子之中的至少一种成分和酸成分的水溶液。本发明的导体图案(1)的形成方法是，使用上述蚀刻液对选自Ni、Cr、Ni-Cr合金和Pd之中的至少一种金属进行蚀刻而形成导体图案(1)。