带有气密封接的应力隔绝座以保护传感器芯的压力传感器

摘要

一种通过用有相似热膨胀系数的粘合剂将传感器芯装到应力隔绝座上而改进了的电子压力传感器。所说的粘合剂为应力隔绝座与压力传感器芯之间提供了密封。应力隔绝座上的孔口为施加给传感元件的压力提供一个开口。通过半刚性的粘合剂将应力隔绝座装至塑料的封装体从而为包装体与应力隔绝座之间的形式应力隔绝和密封。进入上述开口的有害化学物质会接触传感器芯的裸露薄膜，但是，该有害物质因所说气密封接而不会靠近前述敏感的互联点。