公开/公告号CN102471867A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-23
原文格式PDF
申请/专利权人 MSG里松格莱斯股份公司;
申请/专利号CN201080033380.9
申请日2010-07-22
分类号C23C14/08;C23C14/10;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/29;
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人郇春艳
地址 德国柏林
入库时间 2023-12-18 05:21:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-09-07
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/08 申请公布日:20120523 申请日:20100722
发明专利申请公布后的驳回
2012-08-08
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/08 申请日:20100722
实质审查的生效
2012-05-23
公开
公开
机译: 涂覆方法包括从工艺气体中产生等离子体射流并将前体材料引入其中,将涂层从射流沉积到基体上,或将现有涂层涂覆在基体上并加热基体
机译: 在基体和涂层基体上形成结构化涂层部件的方法
机译: 在基体涂覆的基体上制造结构涂层的方法以及具有基体的半成品