能够实时获得极紫外光辐射特性的极紫外光探测系统

摘要

能够实时获得极紫外光辐射特性的极紫外光探测系统，涉及一种极紫外光探测系统。它解决了现有的装置难以实时探测极紫外光辐射特性的问题。它的毛细管输出的辐射光入射至反射镜，经反射镜反射至滤光片，经滤光片滤光后入射至光电二极管的光输入端；示波器用于采集光电二极管的电信号并生成所述电信号的波形；示波器还用于通过电流线圈测量毛细管的放电电流并生成所述放电电流的波形；示波器还用于通过高压探头测量毛细管的放电电压，并生成所述放电电压的波形；光电二极管的电信号波形与毛细管的放电电流波形和放电电压波形之间形成时间关系波形，分析所述时间关系波形获得极紫外光辐射特性。本发明适用于实时获得极紫外光辐射特性。