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基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置

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摘要

本发明提供一种基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置，所述基板搬送用手的吸附部(3)包括吸盘(5)和弹性部件(8)，所述吸盘(5)与基板(2)接触并吸附基板(2)，所述弹性部件(8)被设置在叉(1)与吸盘(5)之间，并具有吸附流路(7)，所述吸附流路(7)使吸附用流体(6)在叉(1)与吸盘(5)之间连通，所述基板搬送用手的吸附部(3)构成为能够通过使弹性部件(8)的一部分变形来改变吸盘(5)相对于叉(1)的突起量(9)。

著录项

公开/公告号CN102468204A

专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-23

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社安川电机;
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申请/专利号CN201110340266.7
发明设计人古田诚;仲子透;山崎哲也;
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申请日2011-11-01
分类号H01L21/677(20060101);H01L21/683(20060101);B65G47/91(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人党晓林;王小东
地址日本福冈县
入库时间 2023-12-18 05:12:52

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-10-28

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/677 申请公布日:20120523 申请日:20111101

发明专利申请公布后的视为撤回
2013-04-17

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20111101

实质审查的生效
2012-05-23

公开

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