法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-11-06
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B5/18 申请公布日:20120404 申请日:20111116
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-06-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/18 申请日:20111116
实质审查的生效
2012-04-04
公开
公开
机译: 亚波长超紫外金属透射光栅及其制造方法
机译: 基于亚波长金属光栅的波长滤波器
机译: 基于亚波长金属光栅的波长滤波器