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电子束退火制备二硼化镁超导约瑟夫森结的方法

摘要

一种电子束退火制备二硼化镁超导约瑟夫森结的方法,该方法采用电子束在真空中对夹层式二硼化镁约瑟夫森结先驱膜进行退火。所述的夹层式二硼化镁约瑟夫森结先驱膜为[Mg/B]-X-[Mg/B],X代表标准导体层N或绝缘层I,在秒数量级的退火时间内使先驱膜中的镁、硼单质发生化学反应,最终生成MgB2-X-MgB2结构的SNS型或SIS二硼化镁超导约瑟夫森结。

著录项

  • 公开/公告号CN102368533A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-03-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院电工研究所;

    申请/专利号CN201110328538.1

  • 申请日2011-10-26

  • 分类号H01L39/24(20060101);

  • 代理机构11251 北京科迪生专利代理有限责任公司;

  • 代理人关玲

  • 地址 100190 北京市海淀区中关村北二条6号

  • 入库时间 2023-12-18 04:30:08

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-10-30

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L39/24 申请公布日:20120307 申请日:20111026

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2012-05-02

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L39/24 申请日:20111026

    实质审查的生效

  • 2012-03-07

    公开

    公开

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