微电子加工平台水冷却的温度控制系统及其调功节能方法

摘要

本发明涉及一种微电子加工平台水冷却温度控制系统及其调功节能方法，包括顶部温度控制单元和平均温度控制单元，顶部温度控制单元由水箱、电压调整器及加热元件、制冷机、蒸发器、调节器、水温传感器、循环泵及平衡阀、PLC控制器、上水套和顶壁温度传感器组成，采用连续加热-分级制冷调功模式的串级温度控制方法，顶部温度控制主回路中使用第一，二调节器和电压调整器对水箱中的加热元件按照电加热热源函数进行连续加热控制；根据水温设定值和输出值利用算法分段函数通过第一，二调节器和PLC控制器来控制第一至第四制冷机的开启。本发明用于微电子加工平台，实现无级制冷和节约电能，较好地解决了能源浪费，实现了高效，节能，合理的利用资源。