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基于强流脉冲离子束技术降低超硬多层薄膜残余应力的方法

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一种基于强流脉冲离子束技术降低硬质薄膜残余应力的方法，属于材料表面工程技术领域。该方法利用强流脉冲离子束发生装置产生不同能量密度和束流密度的C/H混合离子束，对多层薄膜进行不同次数的辐照处理，比较辐照前后薄膜残余应力的变化，对不同种类的薄膜确定最优辐照参数。该方法适用于不同种类的均质和非均质超硬多层薄膜，能量转换效率高，具有很好的能量沉积深度分布。设备结构紧凑，辐照作用面积大，影响深度深，在一个脉冲内，可处理的面积达100cm

著录项

公开/公告号CN102321874A

专利类型发明专利
公开/公告日2012-01-18

原文格式PDF
申请/专利权人大连理工大学;
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申请/专利号CN201110299951.X
发明设计人陈军;林莉;郝胜智;林国强;邢晶;
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申请日2011-09-30
分类号C23C14/58;C23C16/56;
代理机构大连理工大学专利中心;
代理人梅洪玉
地址 116100 辽宁省大连市凌工路2号
入库时间 2023-12-18 04:21:34

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-07-10

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/58 申请公布日:20120118 申请日:20110930

发明专利申请公布后的视为撤回
2012-03-14

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/58 申请日:20110930

实质审查的生效
2012-01-18

公开

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