导电密封环静电吸盘

摘要

本发明提供了一种用于衬底处理系统的改进的静电吸盘。所述静电吸盘包括：主体，其具有被构造成支撑衬底的顶表面；电源，其用于向主体施加电压；以及密封环，其位于主体和衬底之间，其中密封环具有导电层。