一种空间光调制器中心与相机中心空间位置的标定方法

摘要

本发明公开了一种空间光调制器中心与相机中心空间相对位置的标定方法，通过成像系统，由CCD相机实时采集基底上的标记图形，通过人工智能识别技术检测标记图形，获取标记图形的中心位置坐标，通过计算得到标记图形中心与相机中心的相对位置，从而达到标定目的。本发明为空间光调制器中心与相机中心相对位置偏差而导致的实际曝光位置与正确曝光位置的偏差提供一种标定方法，以提高光学无掩模曝光系统中曝光位置的精度。