一种MEMS微加速度传感器及其应用

摘要

本发明公开了一种MEMS微加速度传感器及其应用，属于半导体制造技术领域。本发明微加速度传感器包括：敏感质量块、横梁、横梁上的压阻、金属连线、亚焊点及硅衬底，敏感质量块与横梁固定，横梁作为敏感质量块的支撑臂位于加速度传感器的中轴位置，该横梁的底部固定在衬底上。根据本发明设计的微加速度传感器，由于敏感质量块位于横梁两端，使得在施加一定加速度a时，系统通过敏感质量块上下振动，间接增大了敏感质量块的质量M，使得灵敏度S提高，从而在系统体积V比较小的情况下可以测量较高的g值，实现高灵敏度加速度传感器的测量。