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一种非晶碲镉汞红外探测器离子束表面清洗方法

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摘要

一种非晶碲镉汞红外探测器离子束表面清洗方法，其特征在于在真空腔体内，把探测器芯片固定在样品台上，将样品台倾角调整为4.5°，样品台温度设置为10℃，然后对真空腔体抽真空，使真空度达到6×10

著录项

  • 公开/公告号CN102201485A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-09-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 昆明物理研究所;

    申请/专利号CN201010129133.0

  • 发明设计人 莫镜辉;李雄军;史衍丽;

    申请日2010-03-22

  • 分类号

  • 代理机构昆明今威专利代理有限公司;

  • 代理人赛晓刚

  • 地址 650223 云南省昆明市教场东路31号

  • 入库时间 2023-12-18 03:26:04

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-09-25

    专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):H01L31/18 合同备案号:2013530000083 让与人:昆明物理研究所 受让人:云南北方昆物光电科技发展有限公司 发明名称:一种非晶碲镉汞红外探测器离子束表面清洗方法 申请公布日:20110928 授权公告日:20120725 许可种类:独占许可 备案日期:20130729 申请日:20100322

    专利实施许可合同备案的生效、变更及注销

  • 2012-07-25

    授权

    授权

  • 2011-11-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20100322

    实质审查的生效

  • 2011-09-28

    公开

    公开

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