法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-03-20
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C30B29/30 申请公布日:20110928 申请日:20110407
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B29/30 申请日:20110407
实质审查的生效
2011-09-28
公开
公开
机译: 铋镁共掺杂铌酸锂晶体及其制备方法和应用
机译: 铋和镁共掺杂铌酸锂晶体及其制备方法和应用
机译: 用于动态RAM存储单元中的选择晶体管的掺杂区制备方法涉及执行离子注入工艺,使得与半导体衬底表面有关的离子的冲击角等于特定值。