公开/公告号CN102185006A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-09-14
原文格式PDF
申请/专利权人 江阴浚鑫科技有限公司;
申请/专利号CN201010540952.4
申请日2010-11-11
分类号H01L31/18(20060101);H01L31/0216(20060101);H01L31/04(20060101);C23C16/34(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人逯长明
地址 214443 江苏省江阴市申港镇镇澄路1011号
入库时间 2023-12-18 03:13:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-03-12
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L31/18 申请公布日:20110914 申请日:20101111
发明专利申请公布后的驳回
2011-11-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20101111
实质审查的生效
2011-09-14
公开
公开
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