多晶硅太阳电池多层减反射膜的设计及研制

摘要

采用导纳矩阵法-等效界面模型和太阳能电池计算机设计软件,模拟设计出多晶硅太阳电池表面三层氮化硅减反射膜.将设计得到的最优组合结果用于沉积三层氮化硅薄膜的实践中,用等离子增强化学气相淀积(PECVD)法在多晶硅片上沉积氮化硅膜.分别用激光椭圆偏振仪、紫外可见分光光度计和少子寿命测试仪测试氮化硅膜的膜厚、折射率、反射率和少子寿命.初步实验结果显示:80nm左右的三层复合氮化硅减反射膜具有良好的减反射作用,在入射光为650nm范围内,反射率降到2％.