法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-11-06
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B5/00 申请公布日:20110831 申请日:20110413
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-11-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/00 申请日:20110413
实质审查的生效
2011-08-31
公开
公开
机译: 射线发射元件,具有通过活动区域的电子操作在电极中激发的上表面等离子体激元,其中着色材料通过电极中的上表面等离子体激元激发用于辐射射线的材料
机译: 用于光刻的表面等离子体激元光学器件和辐射表面等离子体激元源
机译: 用于光刻的表面等离子体激元光学器件和辐射表面等离子体激元源