晶圆代工机台超纯水回收方法及系统

摘要

本发明公开一种晶圆代工机台超纯水回收方法及系统，对晶圆代工机台外输废水采用传感器检测其水质，经控制系统判断后控制阀门使相应管路导通，使符合超纯水回收标准的进入超纯水回收系统；否则进入废水处理系统。由控制系统根据传感器测得的数据控制阀门，使晶圆代工机台外输废水进入相应的管路，从而实现了符合回收标准的超纯水得以进入超纯水回收系统，处理后重新使用，能够使晶圆代工机台废水合理分流，降低了废水处理系统处理负荷和运行成本，同步提高制程纯水回收率，节约了用水。