300mm半导体晶圆代工厂的Slurry供应系统探讨及结晶物问题的解决

摘要

随着中国半导体业的发展，200 mm 晶圆代工厂(Foundry)在中国纷纷出现，300mm的晶圆代工厂也在进一步的发展之中。为了使相关人员对晶圆代工厂的厂务Slurry 化学研磨液供应系统有所了解，特撰写本文。 本文介绍了300 mm 晶圆代工厂厂务Slurry 供应系统的定义和分类，基本构成，安全设计和品质监控的要点，以及为了使整个供应系统更加稳定而对于时下流行系统所做的改善，力图使读者对厂务Slurry 供应系统有一个整体的了解，并通过各个不同的方面对Slurry 供应系统的结晶物问题进行了剖析，并相应地提出了解决方案。同时，为了使读者对Slurry供应系统的重要性有所印象，特独立一章节对了CMP制程进行概述。