改良的基板无效边去除系统

摘要

本发明是有关于一种改良的基板无效边去除系统，该基板无效边去除系统包括：一床台；一基板乘载模组，具有一基板载座以乘载一待研磨基板；一研磨轮乘载模组，具有至少一研磨轮机构，以去除该待研磨基板的无效区域；及至少一量测定位模组。该量测定位模组可于执行待研磨基板的无效区域去除前，量测待研磨基板的厚度以及位置，并由一外部电脑计算之后，调整该研磨轮机构的高度与位置，以对待研磨基板执行位置补偿与角度补偿，以提高无效区域去除的准确度，而可避免执行无效区域去除时，破坏了待研磨基板上的有效区域。