法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-09-10
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01L1/14 申请公布日:20110824 申请日:20091120
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-12-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L1/14 申请日:20091120
实质审查的生效
2011-08-24
公开
公开
机译: 动力学量传感器及制造动力学量传感器的方法
机译: 制造电容型半导体物理量传感器和电容型半导体物理量传感器的方法
机译: 电容式动态量传感器,制造电容式动态量传感器的方法以及包括电容式动态量传感器的检测器