用于微机加工应用的激光束的后置透镜调向

摘要

一种激光微机加工系统，其包括沿着激光束脉冲的路径定位于激光源与光束调向机构之间的简单聚焦透镜。所述聚焦透镜为简单单片球形透镜，其中所述聚焦透镜的光学轴被定位成与从所述激光源输入的激光束成直线。所述聚焦透镜被定位成比所述光束调向机构更远离工件。有源光束路径管理系统使所述简单聚焦透镜与所述光束调向机构协同地且相对于所述光束调向机构移动以在所述光束调向机构所影响的所有偏转角度下维持焦点与所述工件的表面一致。所述聚焦透镜可与所述光束调向机构协同地快速移动以维持从所述透镜输出到所述工件的恒定光束路径长度。