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可控制备碳纳米管原子力显微镜针尖的方法

摘要

一种采用单根碳纳米管制备原子力显微镜针尖的工艺,包括以下步骤:在所述的显微镜针尖上采用电化学还原的方法沉积一个金属纳米微粒,将沉积了金属纳米微粒的显微镜针尖向上,采用等离子体增强化学气相沉积法定点、定向生长显微镜针尖上的单根碳纳米管。本发明得到的组装有单根碳纳米管的原子力显微镜针尖可以用于原子力显微镜成像。

著录项

  • 公开/公告号CN102109535A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-06-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京五泽坤科技有限公司;

    申请/专利号CN200910260047.0

  • 发明设计人 不公告发明人;

    申请日2009-12-24

  • 分类号G01Q60/38;C23C16/26;C23C16/513;C23C16/455;C25D7/00;

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 100081 北京市海淀区中关村南大街9号理工科技大厦2013室

  • 入库时间 2023-12-18 02:43:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-07-17

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01Q60/38 申请公布日:20110629 申请日:20091224

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2011-06-29

    公开

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