公开/公告号CN102081139A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-06-01
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹NEC电子有限公司;
申请/专利号CN200910201875.7
申请日2009-11-30
分类号G01R31/26;H01L21/66;
代理机构上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人孙大为
地址 201206 上海市浦东新区川桥路1188号
入库时间 2023-12-18 02:39:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-08-28
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R31/26 申请公布日:20110601 申请日:20091130
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-07-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/26 申请日:20091130
实质审查的生效
2011-06-01
公开
公开
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