公开/公告号CN102098028A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海新傲科技股份有限公司;
申请/专利号CN201010507239.X
申请日2010-10-14
分类号H03K3/02;H01L27/12;H01L29/04;H01L29/78;H01L21/84;
代理机构上海光华专利事务所;
代理人李仪萍
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2023-12-18 02:34:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-06-04
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L29/04 申请公布日:20110615 申请日:20101014
发明专利申请公布后的驳回
2011-08-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H03K3/02 申请日:20101014
实质审查的生效
2011-06-15
公开
公开
机译: 与CMOS工艺集成的混合晶圆键合方法
机译: 与CMOS工艺集成的混合晶圆键合方法
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