通过循环硅细粉来提高多晶硅反应器生产效率的方法

摘要

制备多晶硅的方法，其包括将硅颗粒与可热分解硅化合物在反应室内反应。一部分可分解硅化合物分解成硅粉，该硅粉排出反应室并重新引入反应室。该排出的硅粉与硅颗粒聚结在一起。