法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-12-19
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/35 申请公布日:20110615 申请日:20101203
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-08-10
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20101203
实质审查的生效
2011-06-15
公开
公开
机译: 高性能薄膜结构多层多层金属过山车
机译: 用于高性能薄膜结构的无Hillock多层金属线
机译: 无小山的多层金属通孔可实现高性能-薄膜结构