一种测量氧化锌纳米棒阵列薄膜的压电应变常数d33的方法

摘要

本发明公开了一种测量氧化锌纳米棒阵列薄膜的压电应变常数d33的方法，该氧化锌纳米棒阵列薄膜是通过溶液法在金属锌基底上制备所得的c轴择优取向的阵列薄膜，该测量方法是基于激光多普勒原理的激光测振法。包括以下步骤：(1)在氧化锌纳米棒阵列薄膜的上表面镀一层金属导电膜；(2)使用阻抗分析仪测量氧化锌纳米棒阵列薄膜的谐振频率f0；(3)在氧化锌纳米棒阵列薄膜的上下表面加电压U；(4)使用激光测振仪测量，在电压为U的条件下，谐振频率f0附近的氧化锌纳米棒阵列薄膜的振幅ΔL；(5)由公式ΔL＝d33×U，计算可得氧化锌纳米棒阵列薄膜的压电应变常数d33。该方法操作简单，可行性好，灵敏度高，测量准确。