包含不同类型表面的衬底及获得这种衬底的方法

摘要

具有较大晶体缺陷密度的支撑体、设置在支撑体的正面的第一区上的绝缘层以及设置在绝缘层上的表面层。可以至少在支撑体的正面的第二区上设置附加层，该附加层具有足以掩埋支撑体的晶体缺陷的厚度。衬底还可以包括在支撑体和绝缘层之间至少布置在支撑体的正面的第一区上的外延层。制造该衬底的方法包括以下步骤：在表面层的第一区上形成掩膜层；和去除未被掩膜层覆盖的第二区中的表面层和绝缘层。在第二区中形成附加层并接着将其平坦化。