不同切向衬底的声表面波传播特性仿真

摘要

cqvip:声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)是在固体表面传播的一种弹性波。SAW谐振器是传播和处理SAW的一种器件,其对SAW可进行滤波、延迟等处理。压电单晶是制作SAW谐振器的重要材料,其通常具有各项异性。基于同一种压电材料的不同切向制作的SAW谐振器,其SAW的传播特性、温度特性和应变特性等有较大差异。本文基于Bond矩阵旋转的方法,对硅酸镓镧(La3Ga5SiO14,LGS)压电单晶在(0°,138.5°,26.6°)切向上的弹性系数矩阵、介电常数矩阵和耦合矩阵进行旋转变换计算。并利用COMSOL软件仿真LGS单晶不同切向上的SAW的传播特性。仿真结果与已有的实验结论有较好的符合度,此方法可用于指导SAW谐振器的设计。