确定实际制程中氟化玻璃介电常数值的方法

摘要

本发明公开了一种确定实际制程中氟化玻璃介电常数值的方法，该方法包括：设置氟化玻璃FSG的介电常数值和所述FSG中F元素含量的对应关系，拟和出对应关系曲线；测定实际制程中形成的FSG中F元素含量，根据拟和出的对应关系曲线确定FSG在具有该F元素含量时，FSG的介电常数值。采用该方法能够有效防止汞探针每次测定实际制程中FSG的介电常数值时，都使控片晶圆受到汞的污染而报废。