含羧基超支化聚(胺-酯)丙烯酸酯及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于光致抗蚀剂的含羧基超支化聚(胺-酯)丙烯酸酯及其制备方法，特征是先由多元醇和支化单体，通过“逐步法”合成了不同代数的超支化聚(胺-酯)，再利用单羟基丙烯酸酯和二异氰酸酯反应得到半加成产物。再将这种半加成产物与马来酸酐按一定比例与端羟基超支化聚(胺-酯)反应，得到含有羧基的超支化聚(胺-酯)丙烯酸酯。本发明合成的产物具有粘度低、成膜性好、固化膜的收缩率小等特点，并且由于羧基的引入具有更好的碱溶性，可以得到具有较高分辨率的清晰图像，从而能更好地满足其作为光致抗蚀剂的需要。