线性电动机组及具备该线性电动机组的电子元件移载装置

摘要

本发明的线性电动机组设有多个线性电动机，所述线性电动机具有定子、沿该定子直线地往返移动的动子、以及能够测出该动子的位置的磁传感器，相邻的所述线性电动机的各磁传感器设置成在所述动子的移动方向上位于相异的位置。

说明书

技术领域

本发明涉及线性电动机组及具备该线性电动机组的电子元件移载装置，特别是涉及以设有多个线性电动机的状态被使用的线性电动机组及具备该线性电动机组的电子元件移载装置。

背景技术

表面安装机、元件检查装置等具备作为电子元件移载装置的头部组件。头部组件具备吸嘴部件和吸嘴部件升降单元，在由设置在基座上的元件搬送组件予以支撑的状态下，沿水平方向移动，通过吸嘴部件将在所定位置被供给的电子元件予以保持，然后移动到所定位置并将电子元件移载。如专利文献1所示，头部组件的升降单元具体由多个线性电动机并列设置而成的线性电动机组所构成。各线性电动机分别具有定子、沿该定子直线地往返移动的动子、以及能够测出该动子的位置的磁传感器。各磁传感器测出对应的动子的移动位置。

专利文献1：日本专利公开公报特开2006-67771号

发明内容

本发明的技术课题在于：避免因相邻的线性电动机上设置的磁传感器彼此接近而产生的干扰。

本发明的线性电动机组是设有多个线性电动机的机组，所述线性电动机具有定子、沿该定子直线地往返移动的动子、以及能够测出该动子的位置的磁传感器，相邻的所述线性电动机的各磁传感器设置成在所述动子的移动方向上位于相异的位置。该线性电动机组中，相邻的线性电动机上设置的各磁传感器设置成在所述动子的移动方向上位于相异的位置，因而彼此相对的距离大。因此，能够避免因该等磁传感器彼此接近而产生的干扰，从而能够防止因该干扰造成的各种问题。

本发明的其他结构、作用效果，通过以下的附图以及所说明的实施方式进一步得以明确。

附图说明

图1是概略地说明本发明一实施方式所涉及的表面安装机的俯视图。

图2是说明图1的实施方式所涉及的头部组件的正视图。

图3A是说明图1的实施方式所涉及的第1线性电动机及安装在第1线性电动机上的吸嘴部件的图，表示吸嘴部件处于最上端位置时的状态。

图3B是说明图1的实施方式所涉及的第1线性电动机及安装在第1线性电动机上的吸嘴部件的图，表示吸嘴部件处于最下端位置时的状态。

图4A是说明图1的实施方式所涉及的第2线性电动机及安装在第2线性电动机上的吸嘴部件的图，表示吸嘴部件处于最上端位置时的状态。

图4B是说明图1的实施方式所涉及的第2线性电动机及安装在第2线性电动机上的吸嘴部件的图，表示吸嘴部件处于最下端位置时的状态。

图5是概略地说明图1的实施方式所涉及的线性电动机组及吸嘴部件的图。

图6是说明图1的实施方式所涉及的第1线性电动机及第2线性电动机的概念图。

图7是说明图1的实施方式所涉及的第1线性电动机及第2线性电动机的概念图。

图8是说明图1的实施方式所涉及的线性标尺上记录的两个原点信号信息的间隔的图。

图9是说明本发明的别的实施方式所涉及的第1线性电动机及第2线性电动机的概念图。

图10是说明本发明的再一别的实施方式所涉及的第1线性电动机及第2线性电动机的概念图。

图11是说明本发明的再一别的实施方式所涉及的线性电动机组的概略图。

具体实施方式

以下，根据附图说明本发明的优选实施方式。在以下的说明中，采用以垂直方向为Z轴的三维XYZ轴坐标系。

参照图1，本发明一实施方式所涉及的表面安装机100上设置有：基座20；将被搬入到基座20上的印刷基板P搬送至基座20上的所定位置的基板搬送用传送带21；将由基板搬送用传送带21搬送至所定位置的基板P可向上提升地予以支撑的基板支撑装置25；将所定的电子元件供给到基座20上的所定位置的元件供给部23；将从元件供给部23供给的电子元件予以保持的作为电子元件移载装置的头部组件1；将头部组件1可沿水平方向移动地予以支撑的元件搬送组件22；拍摄由头部组件1保持的电子元件的元件摄像部24。

基板搬送用传送带21包括以沿图中的X轴方向横过基座20上的状态设置的一对导轨，以及在各导轨之间绕Y轴转动的环形带。印刷基板P被搬入到基座20上后，印刷基板P被载置到基板搬送用传送带21的环形带上，基于环形带的转动，印刷基板P被移送至基座20上的中央侧的基板支撑装置25处。

基板支撑装置25设置在基板搬送用传送带21的一对导轨间。基板支撑装置25包括升降装置、设置在升降装置的上端的板状的支撑板、由支撑板支撑成直立状态的多个支撑销。升降装置被驱动后，支撑板及支撑销向上方移动，支撑销的远端与印刷基板P的下侧面抵接，在此状态下由支撑销的远端上推印刷基板P，在使印刷基板P的挠曲得以矫正的状态下，将印刷基板P支撑在所定高度。

元件供给部23在基座20上沿Y轴方向相夹基板搬送用传送带21地设置在其外侧，成对设置。元件供给部23包括沿X轴方向并列设置的将料带向Y轴方向送出的多个带式送料器23a。各带式送料器23a具有将卷绕有料带的卷盘予以保持的卷盘保持部、将料带送出的送出单元。料带上形成有多个沿长度方向隔开所定间隔的凹状空间，各空间中收容有电子元件。各卷盘保持部使料带可沿Y轴方向被送出地保持着卷绕有料带的卷盘，在料带的送出方向下游侧(在Y轴方向上，分别接近基板搬送用传送带21的一侧)，设置有元件供给位置。电子元件通过由送出单元将料带间歇地向Y轴方向送出而依次地被供给到元件供给位置。

元件搬送组件22包括将头部组件1可沿X轴方向移动地予以支撑的X轴方向支撑部22b、以及将支撑头部组件1的X轴方向支撑部22b可沿Y轴方向移动地予以支撑的Y轴方向支撑部22a。

头部组件1在元件供给部23的元件供给位置吸附电子元件后，Y轴方向支撑部22a的电动机22a1进行驱动，滚珠丝杆轴22a2受电动机22a1的驱动力而转动。X轴方向支撑部22b通过滚珠螺母(未图示)与滚珠丝杆轴22a2连接。X轴方向支撑部22b到达Y轴方向的所定位置后，X轴方向支撑部22b的电动机22b1进行驱动，滚珠丝杆轴22b2受电动机22b1的驱动力而转动。头部组件1通过滚珠螺母(未图示)与滚珠丝杆轴22b2连接。因此，与滚珠螺母连接的头部组件1受滚珠丝杆轴22b2的转动驱动，而沿滚珠丝杆轴22b2的长度方向亦即X轴方向移动。这样，头部组件1通过X轴方向支撑部22b及Y轴方向支撑部22a在水平方向上可移动地被支撑。

元件摄像部24拍摄由头部组件1所保持的电子元件。具体而言，元件摄像部24包括区域相机、照明装置等，其以向上的姿势被固定在基座20上。由头部组件1所保持的电子元件首先从元件供给部23的元件供给位置被移送至元件摄像部24的上方。之后，元件摄像部24从下方拍摄处于由头部组件1保持的保持状态的电子元件。

接着，就本实施方式的头部组件1及该头部组件1所具备的线性电动机组1b进行详细说明。

参照图2，头部组件1包括拍摄印刷基板P的上表面的基板摄像组件1a、用远端吸附保持被供给的电子元件的多个吸嘴部件1c、稍后详述的线性电动机组1b。

基板摄像组件1a包括具备CCD等摄像器件的区域相机及照明装置。基板摄像组件1a以朝下的姿势安装在头部组件1上。基板摄像组件1a拍摄印刷基板P的表面上所表示的各种标记。

参照图3A至图4B，吸嘴部件1c通过线性电动机组1b的各线性电动机被升降驱动，或通过转动驱动机构而围绕吸嘴中心轴被转动驱动。吸嘴部件1c具有驱动轴1c1、可装拆地设置于驱动轴1c1的下端的吸嘴1c2。吸嘴部件1c经由驱动轴1c1的内部通道及切换阀等与负压发生装置(未图示)连接，在吸附电子元件时，通过由负压发生装置所产生的负压，由吸嘴1c2的远端吸附保持电子元件。

如后面所详述，本实施方式所涉及的线性电动机组1b包括两种线性电动机(以下称作第1线性电动机A、第2线性电动机B)(参照图5)。第1线性电动机A及第2线性电动机B以交互排列的状态被组合，作为线性电动机组1b予以使用。将一个线性电动机A(B)上安装有一个吸嘴部件1c的状态称为所谓的头部。多个头部以被组合的状态安装在头部组件1上，头部组件1通过一次的往返可移送多个电子元件。本实施方式中，10个头部被组合安装在头部组件上。

第1线性电动机A及第2线性电动机B分别包括：机架构件10；定子13；沿定子13直线往返移动的动子12；固定在动子12上且记录有确定动子12的位置的信息的线性标尺14；能够读取线性标尺上所记录的信息的磁传感器15；回位弹簧16(省略形状)；控制部19。

机架构件10是收容或保持定子13、动子12、线性标尺14、磁传感器15及回位弹簧16的部件。机架构件10上形成有收容动子12、线性标尺14、定子13等的空间。该空间为了使吸嘴部件1c在与动子12一体地安装的状态下沿上下方向移动而敞开。机架构件10的所述空间中，安装有沿Z轴方向延伸的用以引导动子12的线性导向机构17。此外，在线性导向机构17的Z轴方向两端侧，安装有规定动子12沿Z轴方向往返移动的行程S1的一对限位器11。另外，机架构件10上设置有用以固定磁传感器15的传感器固定部10a。传感器固定部10a可以使磁传感器15在与Z轴方向亦即动子12的移动方向平行的方向上挪动设置并予以固定。

定子13包括：梳形的芯部；在线性电动机驱动时辅助定子Z轴方向两端的磁通形成的一对副齿；卷绕于芯部上的线圈。在线性电动机驱动时，各线圈中被供给相位相异的u相、v相、w相中的任一相的电流。由此，使定子13作为电磁铁发挥作用，在各线圈周围产生所定的磁通。

参照图6及图7，动子12包括动子主体12b、固定在动子主体12b上的永磁铁12a。动子主体12b形成为剖面大致“コ”状的纵长框状。永磁铁12a以S极和N极交互地呈现的状态固定在动子主体12b上的与定子13相对的位置。另外，动子12的下端部侧面上通过安装臂18安装有吸嘴部件1c(参照图3A至图4B)。

定子13的线圈中被供给所定的电流后，定子13作为电磁铁发挥作用，电磁铁的磁通和动子12的永磁铁12a的磁通相互作用，产生推进力。其结果，动子12在由一对限位器11所规定的行程S1内沿Z轴方向相对于定子13往返移动。因此，安装在动子12上的吸嘴部件1c随着动子12的变位而升降。

线性标尺14是磁性地记录了位置信息的磁标尺。具体而言，其利用细长的板状的硬磁性材来保持磁信号，使与该磁信号对应的磁信号磁场从线性标尺14中产生。本实施方式中，作为磁信号，记录有表示沿Z轴方向隔开一定间隔的微小位置的标度信息和表示移动量的运算基准点的原点信号。线性标尺14被固定在动子12上与后述的磁传感器15相对的位置。图6所示的实施方式中，采用了与各线性电动机A、B的种类对应的记录有隔开所定间隔的两个原点信号信息的线性标尺14。

磁传感器15是所谓的MR传感器(Magneto Resistance Sensor)，其包括检测记录在线性标尺14上的磁信号的检测元件15b、抑制检测元件15b检测时产生的干扰的偏磁15a。检测元件15b具备与线性标尺14相对的感磁图形(magnetosensitive pattern)。感磁图形通过成膜为坡莫合金等软磁性薄膜来形成。通常，当线性标尺14移动，磁信号磁场几乎垂直地入射于感磁图形时，感磁图形的电阻会基于磁阻效应而稍微减少。因此，利用该物理现象，通过将一定的电流流到感磁图形，可以获得对应于与线性标尺14上记录的磁信号相应的磁信号磁场的强度的电压信号。磁信号磁场当设从N极至S极的间距为λ时在/2的位置为最大，相反在λ＝0的位置亦即与N极或S极一致时为最小。因此，在线性标尺14上，因为磁信号磁场以λ为周期的大致正弦波形进行变化，所以检测元件15b的输出也同样以λ的周期进行变化。只要对该检测元件15b的输出进行适当的波形处理，就可以得到与位置对应的电信号，因此，根据磁信号(标度信息、原点信息等)，可以间接地确定动子12的位置。

另外，偏磁15a呈大致带状，为了避免因巴克好森效应造成的检测元件15b的误测，设置在Y轴方向上隔着检测元件15b而与线性标尺14相对的位置，在Z轴方向上相对较长地延伸。并且，被设置成在X轴方向上S极与N极相对，以形成通过检测元件15b的围绕Y轴的磁通。

回位弹簧16沿Z轴方向延伸，其具体由张力线圈弹簧构成，该张力线圈弹簧安装在机架构件10的上部与设于动子12下部的安装臂18之间。回位弹簧16赋予动子12向上方的势能。当动子12往下方移动时，其抵抗回位弹簧16的势能力，从而吸嘴部件1c下降，当动子12往上方移动时，其受回位弹簧16的势能力作用，从而吸嘴部件1c上升。

控制部19包括电流控制部(未图示)、位置信号信息检测部(未图示)、原点信号信息检测部(未图示)。电流控制部按照定子13的电磁铁与动子12的永磁铁的位置关系控制供应给后述的定子13的电磁铁的电流。位置信号信息检测部根据磁传感器15的检测信号计测动子12的移动量。原点信号信息检测部根据磁传感器15的检测信号测出用以计测动子12的移动量的原点位置。

这里，就第1线性电动机A与第2线性电动机B的不同点进行说明。

第1线性电动机A与第2线性电动机B的不同点在于磁传感器15的(偏磁15a的)设置位置。即，如图5所示，第1线性电动机A的磁传感器15设置在第1区域I内，而第2线性电动机的磁传感器15则相对于第1区域I设置在第2区域II内。第1区域I及第2区域II是沿Z轴方向呈直列地被设置的区域。因此，在磁传感器15分别设置在各领域的情况下，磁传感器15内的偏磁15a彼此在移动方向上不会重叠。若第1线性电动机A与第2线性电动机B交互并列地被组合，如图5所示，相邻的线性电动机A、B彼此的磁传感器15的位置在动子的移动方向亦即Z轴方向上互为不同。因此，包含在第1线性电动机A的磁传感器15内的偏磁15a，与包含在邻接于第1线性电动机A设置的第2线性电动机B的磁传感器15内的偏磁15a便互为不同，在X轴方向上不相对。故此，可以避免包含在设于相邻的线性电动机A、B中的磁传感器15内的偏磁15a的磁力相互作用的情况。

进一步说明第1线性电动机A与第2线性电动机B的不同。参照图6及图7，各图所示的第1线性电动机A及第2线性电动机B中，不管磁传感器15的设置位置如何，分别具备同一规格的线性标尺14。具体而言，线性标尺14上记录有作为磁信号的第1原点信号信息14a和第2原点信号信息14b，其中，第1原点信号信息14a仅可由设置在第1区域I的磁传感器15所读取，第2原点信号信息14b仅可由设置在第2区域II的磁传感器15所读取。另外，如图8所示，第1原点信号信息14a和第2原点信号信息14b之间的间隔S2，设置得比动子12的行程S1大，比从第1原点信号信息14a至邻接的第2线性电动机B的磁传感器15(图8中以假想线表示)的检测元件15b的位置(即读取位置)的距离S3小。通过使这样的S1＜S2＜S3的关系成立，并使第1区域I和第2区域II维持在直列关系，由此，第1原点信号信息14a仅由设置在第1区域I的磁传感器15所读取，第2原点信号信息14b仅由设置在第2区域II的磁传感器15所读取。

因此，第1线性电动机A中，如图6及图7所示，由设置在第1区域I的磁传感器15读取第1原点信号信息14a，以控制第1线性电动机A的驱动。另外，第2线性电动机B中，如图6及图7所示，由设置在第2区域II的磁传感器15读取第2原点信号信息14b，以控制第2线性电动机B的驱动。

这样，由于线性标尺14上隔开所定间隔地记录有两个原点信号信息，因此，即使相邻的第1线性电动机A及第2线性电动机B彼此的磁传感器15的设置位置相异，彼此的磁传感器15的读取范围互不相同，各磁传感器15也能够读取各线性标尺14上所记录的两个原点信号信息中的任意一个。而且，线性电动机组1b整体上能够实现各线性电动机上设置的线性标尺14的通用化，容易进行元件管理，有效地进行各线性电动机A、B的组装。

如上所述，本实施方式所涉及的磁传感器15中，为了避免因巴克好森效应造成的检测元件15b的误测，采用了偏磁15a，但是，在线性电动机之间尽量以小的间距并列设置的结构中，这样会在邻接的线性电动机上所设的磁传感器间产生磁力线紊乱，对防止巴克好森效应的功能发挥造成阻碍。因此，在以往的装置中，为了防止磁力线紊乱所造成的所述功能的下降，而受到例如如下制约：在线性电动机间设置屏蔽部件，或将线性电动机之间设定得较大。对此，本实施方式中，相邻的第1线性电动机A及第2线性电动机B彼此的各磁传感器15设置成在动子12的移动方向(Z轴方向)上位于相异的位置。即，在相邻的第1线性电动机A及第2线性电动机B中，包含在各磁传感器15中的偏磁15a设置成在X轴方向上不相对。因此，在相邻的第1线性电动机A与第2线性电动机B间，能够避免内置于磁传感器15中的偏磁15a的磁力线紊乱，确保防止巴克好森效应的功能，从而能够防止检测元件15b误测动子12。

图1至图8所示的实施方式所涉及的线性电动机组1b是将仅磁传感器15的位置相异的第1线性电动机A和第2线性电动机B交互设置的机组。但是，本发明并不限于上述的实施方式。

例如，也可如图9所示的线性电动机组1b那样，采用与第1、第2线性电动机A及B对应地仅记录有一个原点信号信息的规格的线性标尺14、14’。具体而言，第1线性电动机A的线性标尺14上仅记录有一个仅可由设于第1区域I内的磁传感器15读取的第1原点信号信息14a，第2线性电动机B的线性标尺14’上仅记录有一个仅可由设于第2区域II内的磁传感器15读取的第2原点信号信息14b。因此，第1线性电动机A中，由设置在第1区域I的磁传感器15读取线性标尺14的第1原点信号信息14a，以控制第1线性电动机A的驱动。另外，第2线性电动机B中，由设置在第2区域II的磁传感器15读取线性标尺14’的第2原点信号信息14b，以控制第2线性电动机B的驱动。

这样，线性电动机组1b中，相邻的第1线性电动机A及第2线性电动机B彼此具有对应于磁传感器15的位置而原点信号信息的记录位置互为相异的线性标尺14、14’。即，相邻的第1线性电动机A及第2线性电动机B中，安装在定子12上的线性标尺的种类基于磁传感器15的设置位置的不同而相异。因此，即使相邻的第1线性电动机A及第2线性电动机B上的磁传感器15的设置位置彼此不同，彼此的磁传感器15的读取范围互不相同，也能够利用只记录有一个原点信号信息的线性标尺14、14’读取原点信号信息。

此外，也可采用如图10所示的实施方式，即，在第1线性电动机A和第2线性电动机B中，将线性标尺14的在动子12上的贴装位置沿Z轴方向挪移，由磁传感器15读取第1原点信号信息14a。

另外，也可采用如图11所示的线性电动机组1b，即，该线性电动机组1b使用磁传感器15的位置不同的三种以上的线性电动机(图11中为第1线性电动机A、第2线性电动机B、第3线性电动机C)，使相同种类的线性电动机不相邻地设置。图11的情况下，磁传感器15所进行的原点信号信息读取，利用在隔开所定间隔的三处记录有原点信号信息的线性标尺14，或利用对应于磁传感器15的设置位置在一处记录有原点信号信息的线性标尺14来进行。

上述的各线性电动机组均能够适用于图1所说明的表面安装机。而且并不限于表面安装机，其等还可作为元件移载装置而搭载元件检查装置或分配器等。

另外，本实施方式中，就一个的线性电动机上设置一个的磁传感器15的情形作了说明，但本发明并不限于此。其还可适用于在一个的线性电动机上设置有多个磁传感器的线性电动机组的情形。此时，只要将线性电动机组内相邻的线性电动机的各磁传感器设置成彼此在动子的移动方向(Z轴方向)上不重叠即可。

本发明的线性电动机组是设有多个线性电动机的机组，所述线性电动机具有定子、沿该定子直线地往返移动的动子、以及能够测出该动子的位置的磁传感器，相邻的所述线性电动机的各磁传感器设置成在所述动子的移动方向上位于相异的位置。根据该发明，相邻的线性电动机上设置的各磁传感器设置成在所述动子的移动方向上位于相异的位置，因而彼此相对的距离大。因此，能够避免因相邻的磁传感器彼此接近而产生的干扰，从而能够防止因该干扰造成的各种问题。

较为理想的是，本发明的线性电动机组包括固定在所述动子上且记录有被所述磁传感器确定所述动子的位置的信息的线性标尺，所述线性标尺上在所定位置记录有表示基准点的原点信号信息，所述原点信号信息记录在隔开所定间隔的至少两处。根据该结构，由于线性标尺上隔开所定间隔地记录有至少两个原点信号信息，因此，即使相邻的线性电动机上的磁传感器的设置位置彼此不同，彼此的磁传感器的线性标尺上记录的信息的读取范围互不相同，各磁传感器也能够读取各线性标尺上所记录的两个原点信号信息中的任意一个。而且，线性电动机组整体上能够实现各线性电动机上设置的线性标尺的通用化，容易进行元件管理，有效地进行各线性电动机的组装。

较为理想的是，本发明的线性电动机组包括固定在所述动子上且记录有确定所述动子的位置的信息的线性标尺，所述线性标尺上在所定位置记录有一个表示基准点的原点信号信息，相邻的所述线性电动机彼此的与所述磁传感器的位置对应的所述原点信号信息的记录位置相异。根据该结构，相邻的线性电动机彼此具备原点信号信息的记录位置相异的线性标尺。即，相邻的线性电动机彼此的安装在定子上的线性标尺的种类，基于磁传感器的设置位置的不同而不同。因此，即使相邻的所述线性电动机彼此的磁传感器的设置位置不同，彼此的磁传感器的线性标尺上所记录的信息的读取范围相异，也能够利用仅记录有一个原点信号信息的线性标尺来读取原点信号信息。

较为理想的是，所述线性电动机按磁传感器的安装位置分为多个种类，各个种类的线性电动机按预定的顺序交互设置。该结构中，为使磁传感器的位置彼此相异，将多个种类的线性电动机交互设置，因此，能够在有限种类的线性电动机中，避免因相邻磁传感器彼此接近而产生的干扰，结果，可单纯地组装有限种类的线性电动机，自如地构成难以遭受干扰影响的线性电动机组。

较为理想的是，本发明的线性电动机组包括固定在所述动子上且保持有多个原点信号信息的线性标尺，所述多个原点信号信息隔开间隔地被记录，以使所述多个种类的线性电动机都只识别一个基准点。该结构中，也能够实现线性标尺的通用化，容易进行元件管理，有效地进行各线性电动机的组装。

较为理想的是，所述磁传感器分别具有抑制巴克好森效应的偏磁，各偏磁设置成在所述动子的移动方向上位于相异的位置。该结构中，通过设置偏磁能够抑制因巴克好森效应造成磁传感器的误测。而且在邻接的线性电动机间，能够防止因偏磁邻接而造成的该偏磁的磁力线紊乱的情况。因此，能够避免该磁力线的紊乱，确保防止巴克好森效应的功能，从而能够防止磁传感器的误测。

本发明的电子元件移载装置是将被供给的电子元件予以保持并移动至所定位置且将该电子元件移载到所述所定位置的装置，其包括：线性电动机组，设有多个线性电动机，所述线性电动机具有定子、沿该定子直线地往返移动的动子、以及能够测出该动子的位置的磁传感器，而且相邻的所述线性电动机的各磁传感器设置成在所述动子的移动方向上位于相异的位置；吸嘴部件，安装在所述线性电动机组的各所述线性电动机的所述动子上而与该动子成一体，随该动子的移动而升降，将所述电子元件予以保持。根据该发明，通过将所述的线性电动机组配备于电子元件移载装置中，能够避免因相邻的磁传感器彼此接近所产生的干扰，防止进行动子的位置检测时的误检测。因此，即使在为了提高安装效率而将多个吸嘴部件予以邻近设置的电子元件移载装置中，也能够不受因相邻的磁传感器彼此接近所产生的干扰的影响，正确地测出动子的位置，从而在由安装于动子上的吸嘴部件保持或移载电子元件时，能够避免因过度地按压电子元件所造成的电子元件的损伤。