线性电动机组及具备该线性电动机组的电子元件移载装置

摘要

本发明的线性电动机组设有多个线性电动机，所述线性电动机具有定子、沿该定子直线地往返移动的动子、以及能够测出该动子的位置的磁传感器，相邻的所述线性电动机的各磁传感器设置成在所述动子的移动方向上位于相异的位置。