能够控制反应室内的排放流体流动路径的化学气相沉积装置

摘要

本发明公开了一种能够控制反应室内的排放流体的流动路径的化学气相沉积装置，将所述化学气相沉积装置装配为不必凭借重新设计和重新制造该装置即可控制基座和腔室的内表面之间的气体排放路径的宽度。化学气相沉积装置具有：腔室；位于腔室内部的并且上面能加载基板的基座；向基板注入处理气的喷头；以及引导单元，该引导单元可拆卸地安装在腔室的内部以引导处理气，从而使从喷头注入的处理气通过腔室内形成的腔室孔得以排放。