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一种提高铟掺杂氧化锌透明导电膜导电性能的方法

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本发明涉及一种提高铟掺杂氧化锌透明导电膜导电性能的方法。该法采用在真空状态下或往退火炉内充入一定量的惰性气体(如氮气、氩气等)、氢气或他们的混合气体对IZO透明导电膜进行退火处理，经退火处理后的IZO透明导电膜电阻率显著降低，而且退火后能保持IZO透明导电膜的高透过率。该法涉及的工艺条件为：气氛压强为10

著录项

公开/公告号CN101985741A

专利类型发明专利
公开/公告日2011-03-16

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院福建物质结构研究所;
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申请/专利号CN200910112271.5
发明设计人曹永革;黄常刚;邓种华;王美丽;
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申请日2009-07-29
分类号C23C14/58;C23C14/08;C23C14/34;H01B5/14;H01L51/50;
代理机构
代理人
地址 350002 福建省福州市杨桥西路155号
入库时间 2023-12-18 01:48:00

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-03-12

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/58 申请公布日:20110316 申请日:20090729

发明专利申请公布后的视为撤回
2012-07-18

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/58 申请日:20090729

实质审查的生效
2011-03-16

公开

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