法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-12-26
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/18 申请公布日:20110105 申请日:20100916
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-03-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20100916
实质审查的生效
2011-01-05
公开
公开
机译: 制备掺硅或掺硼铝电极的方法
机译: 其中具有掺硼和掺硼铝谐振腔的微机电谐振器
机译: 掺硅混合渗硅的掺硼氮化硅纤维