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基于微小孔激光器的扫描近场光学显微镜系统

摘要

一种基于微小孔激光器的扫描近场光学显微镜系统,包括:一近场激发样品台,该近场激发样品台包括一悬臂,该近场激发样品台用于放置样品;一半导体微小孔激光器,该半导体微小孔激光器安装于近场激发样品台的悬臂上;一探测器,该探测器位于样品台的下方,与半导体微小孔激光器相对;一信号处理器,该信号处理器的输入端与探测器的输出端连接,用于收集处理探测器的数据;一Z轴控制装置,该Z轴控制装置通过信号处理器控制近场激发样品台的Z轴移动,以便控制半导体微小孔激光器与近场激发样品台的距离;一X-Y扫描装置,该X-Y扫描装置通过信号处理器控制半导体微小孔激光器对近场激发样品台上的样品进行扫描。

著录项

  • 公开/公告号CN101881786B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-11-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN201010191175.7

  • 发明设计人 宋国峰;胡海峰;徐云;陈良惠;

    申请日2010-05-26

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人汤保平

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2022-08-23 09:11:59

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-11-14

    授权

    授权

  • 2010-12-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q 60/18 申请日:20100526

    实质审查的生效

  • 2010-11-10

    公开

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