法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-07-11
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B22F9/14 公开日:20101229 申请日:20100115
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-02-16
实质审查的生效 IPC(主分类):B22F9/14 申请日:20100115
实质审查的生效
2010-12-29
公开
公开
机译: 当采用辅助电极采用对称馈电结构和无源方法的辅助电极来调制等离子处理腔室中晶圆边缘鞘的方法时,可驱动可控阻抗,使对称射频功率有效地输入到等离子中
机译: 制备由含铁或高温合金涂层的含载体钛载体的圆形旋转热机械零件的方法,以及采用上述方法制得的涡轮发动机的耐钛耐火压缩机壳体
机译: 制备由含铁或高温合金涂层的含载体钛载体的圆形旋转热机械零件的方法,以及采用上述方法制得的涡轮发动机的耐钛耐火压缩机壳体