等离子处理装置及其加热设备和等离子处理方法

摘要

提供了一种等离子处理装置，其具有相对较低的制造成本和良好的加热效率和冷却效率。阳极电极(7)在其中配备有管状加热单元(31)用于加热要被等离子处理的处理物品(包括托盘(5)和基板(6))。管状加热单元(31)包括七个管状加热器(在该实例中为埋入式加热器)(31)，其在俯视平面视图中为U形形状并且彼此平行并相邻。阳极电极(7)在其中还配备有用于冷却阳极电极(7)的管状冷却单元(32)。管状冷却单元(32)包括七个冷却管道(在该实例中为冷却氮气导管)(32)，其在俯视平面视图中为U形形状并且沿着各管状加热器(31)的外侧彼此平行并相邻，这些冷却管道可以将引入到其中的冷却气体在通过冷却管道之后排出到外部。