基于SOI的外脊布拉格波导光栅

摘要

本发明公开了一种基于SOI的外脊布拉格波导光栅，在衬底氧化硅的一个侧面上设置硅基脊波导，硅基脊波导的一端为输入端口，另一端为输出端口。外脊布拉格波导光栅设置在硅基脊波导的一侧或两侧外脊平板区。它利用光栅区与脊的距离的不同，达到对光栅反射峰带宽的控制，并通过改变光栅齿的长度，方便地抑制光栅侧峰。通过对结构参数的优化，可满足各种带宽及低侧峰光栅的需求。本发明具有结构通俗，工艺简单，设计灵活，功能性强等特点，在光开光、光波分复用网络等方面有广泛的应用前景和应用价值。