公开/公告号CN101878323A
专利类型发明专利
公开/公告日2010-11-03
原文格式PDF
申请/专利权人 齐卡博制陶业有限公司;
申请/专利号CN200880118253.1
申请日2008-09-19
分类号C23C16/458(20060101);H01L21/687(20060101);
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人陈华成
地址 荷兰海尔蒙德
入库时间 2023-12-18 01:00:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-02
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C16/458 申请公布日:20101103 申请日:20080919
发明专利申请公布后的驳回
2011-01-19
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/458 申请日:20080919
实质审查的生效
2010-11-03
公开
公开
机译: 用于基板支架的支持组件,以及用于在这种基板上分层沉积不同半导体材料的设备,该材料配有这种支持组件。
机译: 基板支架的支撑组件和在具有这种支撑组件的半导体基板上对半导体材料的不同个体的低精密度沉淀的装置。
机译: 在具有用于旋转乳腺X线摄影板的针图像的旋转基板保持器的蒸发装置中,在基板上产生发光层包括使用偏心地布置在该基板保持器上的基板。