杨氏模量和泊松常数的超声表面波双向检测方法

摘要

本发明属于材料性能检测技术领域，涉及一种杨氏模量和泊松常数的超声表面波双向检测方法，用于检测由各向同性薄膜淀积在硅衬底上形成的分层薄膜材料，包括下列步骤：利用短脉冲激光器在分层薄膜材料样片表面激发出宽频带超声表面波；通过压电探测器分别在样片表面的Si[110]方向和Si[100]方向对表面波信号进行采集，得到超声表面波在该方向上分层薄膜材料上传播的频散曲线；设置多个杨氏模量和泊松常数计算出多条不同的理论色散曲线，将实验测得的表面波实验色散曲线和这些理论色散曲线进行拟合，可以得到与实验色散曲线最接近的理论色散曲线，从而确定出薄膜材料的杨氏模量和泊松常数。本发明提出的方法具有快速，准确，无损检测等特点。