风机过滤单元、半导体制造装置、平板显示器制造装置及净化空气的制造方法

摘要

本发明提供能够一边抑制内部温度上升一边将吸入的空气高度净化的风机过滤单元。一种风机过滤单元，其特征在于，至少具有：箱体；空气吸入用电动风机，其向该箱体的内部取入空气；平板状过滤器，其配置在所述箱体的内部，使通过所述空气吸入用电动风机吸入的空气从一侧的主表面穿过另一侧的主表面，来对空气进行净化处理；空气循环散热路径，其与吸入并净化处理所述空气的路径相独立，是设置在所述箱体的外边部而成的；在所述空气循环散热路径内配置有构成所述空气吸入用电动风机的控制部。