法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-02-27
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G10K9/00 申请公布日:20100630 申请日:20091102
发明专利申请公布后的视为撤回
2010-08-25
实质审查的生效 IPC(主分类):G10K9/00 申请日:20091102
实质审查的生效
2010-06-30
公开
公开
机译: 改进了电子警报器,光学警报器,特别是在熨斗路径操作内部必须使用的警报器
机译: 阶段设备,使用相同的警报器以及使用警报器的设备制造方法
机译: 曝光方法,使用该方法制造装置的方法,警报器以及使用该警报器制造装置的方法