薄膜的形成方法、有机电致发光元件的制造方法、半导体元件的制造方法及光学元件的制造方法

摘要

本发明的目的在于提供一种利用涂布法、使用液状材料，以低成本且简便地在基板上的规定区域图案化形成薄膜的方法，以及使用该方法制造有机电致发光元件、半导体元件、光学元件的方法。本发明的薄膜的形成方法是将含有薄膜形成材料的液状材料(16a)涂布在基板(11)上而于规定区域形成薄膜的方法，该方法包括：对基板(11)进行疏液处理而在基板(11)形成疏液性表面(A)的工序；在基板(11)的疏液性表面(A)图案化形成衬底层(15)的工序，所述衬底层(15)对于液状材料(16a)比所述疏液性表面(A)更具有亲液性；以及在衬底层(15)上涂布液状材料(16a)并使之干燥的工序。