多晶硅铸锭炉用组合式电阻加热器及节能热场设计

摘要

本发明涉及一种多晶硅铸锭炉或提纯炉用组合式电阻加热器及节能热场设计，属多晶硅铸锭或提纯炉的加热器结构设计与制造领域。加热器可降低成本及防止组合后长期使用产生的电接触不良现象，所用静态热场梯度设计具明显的节能效果。电阻加热器由上中下加热器组成，中下加热器都由四片石墨板经过开缝调整其电阻，石墨板左右边缘加工成锯齿状后组合成方形石墨圈，交接处再用碳纤维螺钉固定，上加热器由两片石墨板开缝后组成，石墨板及螺钉、螺孔处都敷上石墨浆，全部组合后进行高温烧结。三个加热器单独程序控制，形成可控节能的静态热场梯度。对采用简单降埚或升保温材料的铸锭炉也可以用上述碳纤维螺钉加石墨浆后固定的方法制作单一的电阻加热器。