一种高性能多层薄膜结构声表面波器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高性能多层薄膜结构声表面波器件，其频率高，且可以承受大功率，可以满足高频率和/或大功率移动通信的要求，此外，本发明还公开了一种高性能多层薄膜结构声表面波器件的制备方法，该制备方法所用设备简单、工艺条件方便易行，有利于大规模的推广应用，具有重大的生产实践意义。